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イオンビーム銃

コールドカソード型クリーニング専用イオン銃 /OMI-0030CKE
概要

本イオン銃はデスチャージ電極に特殊電極を採用しましたので高出力時でも長寿命にする事が可能になりました。また、フィラメント等の反応し易い消耗部品が有りませんので酸素イオン等の出力も可能です。デスチャージ方式に高密度磁界と反射式振動電界を併用いたしましたので非常に高密度のイオンビーム出力が可能となっております。また、ワークデスタンスが100〜200mmと言う広範囲にて1μA〜5μA/φ10〜15mm/VA=600eV〜1500eVもの高出力イオンビームが連続(100時間以上)出力可能ですので、お手持ちの実験チャンバーに取り付ければサンプルのイオン照射、ミーリング作業が容易に可能です。また、もうひとつの最大の特徴は新設計のデスチャージチャンバーによりメーンチャンバーの真空度が10−7Torr台の高真空領域にても動作可能でありますので高純度なミーリング作業が可能な高性能イオン銃です。

性能・仕様
デスチャージ方式 コールドカソード型(PIG)冷陰極放電型
加速電圧 500eV〜1500eV連続可変
収束レンズ アインツェルレンズ
デスチャージマグネット クローズドループ型
ターゲットカレント(全電流)

1μA/600eV〜5μA/1500eV(アルゴン)WD=170mm

推奨ワークディスタンス 100mm〜200mm
ビーム径 φ10〜20mm/WD=200mm
使用可能ガス種 Ar,He,N2,O2,H2,その他不活性ガス
使用真空度(動作真空度) 5×10E-4Pa〜5×10E−5Pa
到達真空度(超高真空対応型) 1×10-10 Torr
べーク温度 〜200℃マグネットを取り外したとき
取り付けフランジ ICF70
連続運転可能時間 Ar使用時:100時間以上(条件により変動します。
ガス流量 0.05sccm〜0.1sccm(Ar)
推奨ワークディスタンス 100mm〜200mm
 試験データ(pdf)
 
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