| ■概要 |
| 本イオン銃はデスチャージチャンバーに特殊電極を採用いたしましたので高出力時にても長寿命にする事が可能になりました。また、フィラメント等の反応し易い消耗部品が有りませんので酸素イオン等の出力も可能です。デスチャージ方式に高密度磁界と反射式振動電界を併用いたしましたので非常に高密度のイオンビーム出力が可能となっております。サンプルの表面クリーニングとか、表面のミーリング、スパッター等の用途に最適です。オプションにて第二収束レンズユニットを取り付ければ、取り付けフランジとサンプルセンターまでの距離が長い場合に適正なワークデスタンスにセッテング出来ます。 |
| ■性能・仕様 |
| デスチャージ方式 |
コールドカソード型（ＰＩＧ）冷陰極放電型 |
| 加速電圧 |
500Ｖ〜5ＫＶ 連続可変 |
| 収束レンズ |
アインッエルレンズ |
| デスチャージマグネット |
クローズドループ型 |
| ターゲットカレント |
ＶＡ：1ＫｅＶ／ＷＤ=200ｍｍ／にて5μＡ
ＶＡ：5ＫｅＶ／ＷＤ=200ｍｍ／にて30μＡ |
| ビーム径 |
φ3ｍｍ〜φ30ｍｍ／ＷＤ=200ｍｍ／ＶＡ5Ｋｖにて
（ビーム径はオプションのレンズユニットを取り付ければφ1.0ｍｍ程度まで小径化可能です。ただしターゲットカレントは10μＡ程度までダウンします。（電流密度はアップします。） |
| 使用可能ガス種 |
Ａｒ，Ｎ２，Ｏ２，Ｈ２，その他不活性ガス |
| 使用真空度（動作真空度） |
5×10Ｅ-4Ｐａ〜1×10Ｅ-3Ｐａ |
| 到達真空度（超高真空対応型） |
1×10-10Ｔｏｒｒ以上 |
| 取り付けフランジ |
ＩＣＦ70 |
| 推薦ワークデスタンス |
ＷＤ=150ｍｍ〜200ｍｍ（イオン銃先端より） |
| ガス導入フランジ |
ＩＣＦ34 |
| べーク可能温度 |
〜200℃（マグネットを引き抜いた時） |
| デスチャージ電極寿命 |
5μＡ出力時100時間以上（条件により変動有り） |
