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■イオンビームスパッター蒸着用イオン銃
/ OMI-0510CKE
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| ■概要 |
本イオン銃は、新開発の新型デスチャージチャンバーを採用いたしましたので高輝度高出力のイオンビームを長時間（100〜200時間）連続照射が可能と成っております。
また、半値幅φ2ｍｍに対してフレア径がφ3ｍｍ程度となり、被スパッター物質の径を小さくできますので微少領域（10ｍｍスケア）程度のイオンビームスパッター蒸着に最適です。加速電圧も1KeV〜10KeVまで連続可変が可能なのでその他のイオンビーム照射試験にも使用可能です。VA=10kｅＶにて全電流20μA、半地幅φ2ｍｍ
フレア径3ｍｍと余分なフレアが少ないのでφ10ｍｍ程度の小さい被スパッター物質でも正確にイオンビームの照射を行えます。
よりまして、ナノレベルの薄膜作成に最適です。
*寿命はガス種及びデスチャージ電圧（イオン出力）により変動いたします。 |
| ■性能・仕様 |
| イオンエネルギー |
1KeV〜10KeV |
| イオンビームカレント（最大） |
50μA／ＶＡ＝10ＫｅＶ／ＷＤ＝150ｍｍ |
| 最大電流密度 |
400μA／cm2／ＶＡ＝10ＫｅＶ／ＷＤ＝150 |
| ビーム径 |
半地幅2ｍｍ／フレア径3ｍｍ／400μＡ／cm2 |
| ワークデスタンス |
WD=150ｍｍ |
| 加速電圧 |
ＶＡ＝0〜10KｅV φ2〜φ3ｍｍ |
| デスチャージ方式 |
コールドカソード型（PIG放電型） |
| 動作圧力 |
1×10Ｅ−3ＰＡ以下 |
| 使用可能ガス |
N2,Ar,、その他不活性ガス |
| ベーク温度 |
200℃ |
| 取り付けフランジサイズ |
ＩＣＦ114（M8タップ） |
| ■試験データ |
| 加速電圧10KVの時のビームプロファイル[PDF] |
| スパッタージオメトリー[PDF] |
| ■アプリケーション |
1・ガラスの表面にスパッタ蒸着（アルミ）させたところ
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2・イオンビーム照射実験
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