| |
 |
■スパッター用高出力コールドカソードイオン銃/
OMI-0510CKES
|
|
| |
|
| |
| ■概要 |
本イオン銃は、新開発の新型ディスチャージチャンバーを採用いたしましたので高輝度高出力のイオンビームを長時間（100〜200時間）連続照射が可能と成っております。
また、半値幅φ0.6ｍｍに対してフレア径がφ1ｍｍ程度となり、被スパッター物質の径を小さくできますので微少領域（１０ｍｍスケア）程度のイオンビームスパッター蒸着に最適です。加速電圧も1KeV〜10KeVまで連続可変が可能なのでその他のイオンビーム照射実験にも使用可能です。寿命はVDSの値及びガス種などにより変化いたします。酸素ガスを使用した場合アルゴンガスよりも寿命が低下いたしますのでご了承願います。 |
| ■性能・仕様 |
| イオンエネルギー |
1KeV〜10KeV |
| イオンビームカレント（最大） |
25μA／ＶＡ＝10ＫｅＶ／ＷＤ＝150ｍｍ |
| 最大電流密度 |
570μA／ｃｍ2／ＶＡ＝9ＫｅＶ／ＷＤ＝150 |
| ビーム径 |
半地幅0.6ｍｍ／フレア径１ｍｍ／570μＡ／ｃｍ2 |
| ワークデスタンス |
WD=150ｍｍ |
| 加速電圧 |
ＶＡ＝0〜10KｅV |
| デスチャージ方式 |
コールドカソード型（PIG放電型） |
| 動作圧力 |
1×10Ｅ−3ＰＡ以下 |
| 使用可能ガス |
N2,Ar,酸素、その他不活性ガス |
| ベーク温度 |
200℃ |
| 取り付けフランジサイズ |
ＩＣＦ114（M8タップ） |
| ■試験データ |
| 加速電圧9KVの時のビームプロファイル[PDF] |
| 出力カレント特性[PDF] |
| ■アプリケーション |
| 1・微少領域のへのスパッター蒸着等 |
| 2・微少領域のイオンビームミーリング |
| 3・その他イオンビーム照射実験 |
|
| |
| |
|
