■減速型スパッター式負金属イオン銃 / OMI-0753NMB     ■概要 本イオン銃は、セシウムイオンがタングステン等の金属表面に衝突（スパッター）された時にセシウムイオンより電子を与えられ負イオン化したタングステンの負イオンを引き出し加速するイオン銃です。また、セシウムイオン源はダブルガンタイプになっておりますので高出力の負金属イオン出力が可能と成っております。ターゲット金属をタンタル、シリコン、モリブデン等に交換すればそれぞれの負金属イオンが発生可能です。 また、本イオン銃はゲートバルブにより減速電極を80ｍｍ移動可能な構造になっておりますのでイオン源及びセシュウムイオン源の交換は超高真空を破らずに作業可能ですので実験時間の短縮が期待できます。 イオンの加速エネルギーは10ｅＶ〜3000ｅＶまで連続可変可能なので種種の実験が容易に実現可能です。一旦3ＫｅＶに加速したイオンを高収束型減速電極にて減速し100ｅＶ以下に減速しております。 ■性能・仕様 イオンエネルギー 10ｅＶ〜100ｅＶ イオンビームカレント 500ｎＡ／100ｅＶ／ＷＤ＝30ｍｍ(Ｗ負イオン) 電子除去方式 電磁石式 イオンビーム径 φ10ｍｍ〜φ30ｍｍ／ＷＤ＝30ｍｍ 加速電圧 ＶＡ＝0〜3ＫＶ 減速電圧 ＶＤ＝0〜3ＫＶ スパッター電圧 ＶＳ＝0〜5ＫＶ スパッターイオン源 セシウムイオン 動作圧力 1×10Ｅ−4Ｐa以下 電極移動機構 台形ネジ推進式 移動距離 80ｍｍＳＴ 取り付けフランジサイズ ＩＣＦ203 ■試験データ 試験データ[PDF]

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