| ■概要 |
| 本イオン銃はヘリウム水素等の軽い元素にても高出力イオンビームが発生可能な新型デスチャージ電極を採用しましたので１００〜２００μＡのへリウムイオンビームを長時間にわたり照射可能です。デスチャージ方式にＰＩＧ型（コールドカソード型）を採用しておりますので酸素などのガスも出力可能です。その他アルゴン、窒素、キセノン等の不活性ガスでも効率の良い大電流イオンカレント（３００μＡ以上）を出力可能です。また、収束レンズに新型静電レンズを採用いたしましたのでビームサイズもφ１００μｍ〜２ｍｍ（半値幅）／フレア径２００μｍ〜４ｍｍ、最大電流密度４〜５ｍＡ／ｃｍ2の高輝度が発生可能です。加速電圧は１０ＫｅＶ，２０ＫｅＶ，３０ＫｅＶ仕様のいずれかから選択可能です。 |
| ■性能・仕様 |
| デスチャージ方式 |
コールドカソード型（ＰＩＧ）冷陰極放電型 |
| 加速電圧 |
１０ＫｅＶ，２０ＫｅＶ，３０ＫｅＶ |
| 収束レンズ |
アインツェルレンズ |
| デスチャージマグネット |
クローズドループ型 |
| ターゲットカレント(全電流) |
ＶＡ：１０ＫｅＶ／５０μＡ |
| ＷＤ＝２００ｍｍにて |
ＶＡ：２０ＫｅＶ／１００μＡ
ＶＡ：３０ＫｅＶ／３００μＡ |
| ビーム径（半値幅） |
φ１００μｍ ／ＶＡ＝１０ＫｅＶ／２μＡ
φ２００μｍ ／ＶＡ＝２０ＫｅＶ／１０μＡ |
| ガス：Ａｒ |
φ２ｍｍ ／ＶＡ＝３０ＫｅＶ／２００μＡ |
| 使用可能ガス種 |
Ａｒ，Ｎ2，Ｏ2，Ｈ2，その他不活性ガス |
| ガス流量 |
〜0.1ＳＣＣＭ以下 |
| 使用真空度（動作真空度） |
１×１０-5
Ｔｏｒｒ 〜 １×１０-6 Ｔｏｒｒ |
| 到達真空度 |
１×１０-8
Ｔｏｒｒ |
| べーク温度 |
１００度以下（バイトンオーリング使用時）
オプションにて２００度仕様有り（カルレッツ） |
| 取り付けフランジ |
１０ＫｅＶ仕様 ＩＣＦ１５２
２０ＫｅＶ仕様 ＩＣＦ１５２
３０ＫｅＶ仕様 ＩＣＦ２０３ |
| 連続運転可能時間 |
Ａｒ使用時：１００時間以上 |
| ガス放電条件により変動有り |
Ｈｅ使用時：２００時間以上 |
イオン銃コントローラ
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加速電圧仕様によりその都度お見積もり致します。 |
