■5KeVマイクロスポット電子銃 / OME-0050μS     ■概要 本電子銃は、フィラメントに極細線の特殊エミッターを採用いたしましたので 5KVという比較的低速の加速電圧でも半地幅φ50μｍ、フレア径φ170μｍ という小スポット径の電子ビームが発生可能です。また、収束レンズに2段アインツェルレンズを採用いたしましたのでビームの平行度も良くなっております。 ■性能・仕様 電子ビームエネルギー 1ＫｅＶ〜5ＫｅＶ　連続可変 電子ビームカレント 17ｎＡ／5ｋｅＶ／ＷＤ＝100ｍｍ 電子ビーム径 φ50μｍ／ＷＤ＝100ｍｍ／ＶＡ＝5ＫＶ 加速電圧 ＶＡ＝0〜5ＫＶ 収束レンズ電圧 ＶＬ1，ＶＬ2＝0〜5ＫＶ 動作圧力 1×10Ｅ−4ＰＡ以下 ワークデスタンス ＷＤ＝100ｍｍ 取り付けフランジサイズ ＩＣＦ70 ■試験データ 試験データ[PDF]ダウンロード

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