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■減速型低速中性ビーム銃
/ OMB-0410NB
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| ■概要 |
本イオン銃は、ディスチャージ方式にエレクトロンボンバードと磁界を併用したデスチャージ方式を採用いたしましたので低速領域により比較的出力の大きなイオンビームを取り出す事が可能です。1100ｅＶに加速されたイオンは2段式の効率の良い減速電極により減速されリング状の熱電子エミッターにより効率よくかつエネルギーの変動のすくないビームエネルギーに中和され発散の少ない高出力のニュートラルビームを得ることが可能です。
また、ニュートラライザーを止めれば単なる低速イオン銃としても使用可能です。 |
| ■性能・仕様 |
| イオンエネルギー |
10ｅＶ〜1100ｅＶ |
イオンビームカレント
（ニュートラルビーム換算値） |
0.8８μA／10ｅＶ／レンズ出口にて
1.8８μA／100ｅＶ／レンズ出口にて |
| ビーム径 |
φ1ｍｍ〜φ20ｍｍ／ＷＤ＝100ｍｍにて |
| ワークデスタンス |
WD=100ｍｍ （レンズ端面より100ｍｍ） |
| イオン中和電子エネルギー |
3〜4ｅＶ／10ｅＶ |
| イオン銃としての最高出力
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VA=1100ｅにて／ビーム半値幅：φ0.5ｍｍ
最大電流密度：200μA／ｃｍ2 |
| 加速電圧 |
ＶＡ＝0〜1100ｅＶ |
| 減速電圧 |
ＶＤ＝0〜1100ｅＶ |
| ニュウトライザー部 |
エレクトロンボンバード式 |
| ニュートラズ電圧 |
0〜50ｅＶ |
| デスチャージ方式 |
振動電界、磁界併用式 |
| フィラメント |
A,B切替式（コントローラのSWによる切替） |
| 動作圧力 |
1.0×10Ｅ−3ＰＡ以下 |
| 使用可能ガス |
N2,Ar,その他不活性ガス |
| ベーク温度 |
200℃ |
| 取り付けフランジサイズ |
ＩＣＦ114 |
| ■試験データ |
| プロファイルデータ[PDF] |
| グラフデータ[PDF] |
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