■モータドライブ４軸マニピュレータ / OMM-0104PM     ■概要 本マニピュレータはＸ，Ｙ，Ｚ，θの４軸を５相ステッピングモータによりドライブいたしますのでスムーズかつ正確に位置決め可能です。 また、回転軸に高トルク型磁気結合型回転導入機を採用いたしましたのでバッククラッシュが無いため高精度の位置決めが可能です。 ■性能・仕様 軸数 Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ　　４軸 Ｘ軸 ±１０ｍｍ、　　　　　　精度±０．０５ｍｍ Ｙ軸 ±１０ｍｍ、　　　　　　精度±０．０５ｍｍ Ｚ軸 ±５０ｍｍ、　　　　　　精度±０．０５ｍｍ θ軸 ±１８０°　　　　　精度±0.72度／±0．36度 モーター ５相パルスモータ θ軸回転導入機 磁気結合型 ホルダー取り付けシャフト φ１０ｍｍ 取り付けフランジ ＩＣＦ１５２ 導入ポート ＩＣＦ３４、２個　　６Ｐ、１個 最高使用真空度 １×１０−１０Ｔｏｒｒ コントローラ Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ　　寸動動作 入力電源 ＡＣ１００Ｖ　１０Ａ

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